東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差
東(dong)京精(jing)密E-TS-1070B 精(jing)度演算誤差方式介紹
1.在G1?G2接觸子間(jian)放入微(wei)動臺。
2.先(xian)移動G1接觸子、控制部指(zhi)示値為行程(cheng)量的一半(ban)時,(-210~-220μm)固(gu)定接(jie)觸子。
3.然后移動G2接觸子、控(kong)制部指示値為0μm時固定(ding)接觸子。
4.微動(dong)臺朝返回方向(xiang)返(fan)回100μm(-100μm)、確認控(kong)制部(bu) 指(zhi)示値。
5.微動(dong)臺至進給原(yuan)位置(zhi)(零位置(zhi))、確(que)認(ren)控制部 指示値為0μm〔注1〕。
6.微動(dong)臺在進給方向(xiang)進給100μm(+100μm)、確(que)認控(kong)制部指示値。
7.微動臺回(hui)到原位(wei)置(zhi)(零位(wei)置(zhi))、確(que)認控制部(bu)指示(shi)値為0μm〔注1〕。
8.0μm→-100μm的指示値與0μm→+100μm的指示値不超過1.5μm。
9.0μm→-100μm的(de)指示値(zhi)與0μm→+100μm的指(zhi)示値的差超過1.5μm時需(xu)再調整、重復(fu)[1.]~[8.]的作業。不超過時進(jin)行(xing)接下來的檢查(cha)。
〔注1〕 微(wei)動臺在原位置(零位置)時(shi)、控(kong)制部指(zhi)示(shi)値不為0μm時、需調整接觸(chu)子重復〔4.〕~〔6.〕的作(zuo)業。
※ 為減少(shao)演算誤差需進(jin)行絞合線單(dan)體感度測量(別紙)。